半導體製程對潔淨管理、氣體流量控制與設備運作穩定性有高度要求。Festo 可依製程需求提供相關自動化方案，例如應用於 FOUP、STOCKER 等設備的 N₂ Purge 氮氣吹掃系統，透過流量控制與感測器掌握吹掃狀態；搭配 Festo AX 遠端監控與資料分析功能，可協助掌握設備及元件狀態，支援預測性維護。EPSON 機械手臂則可依設備條件，評估用於周邊工件取放、上下料與製程間搬運。

• FOUP／STOCKER 的 N₂ Purge 與流量監控
• Festo 驅動與控制：晶圓頂針同步升降及設備內精密定位
• 透過 Festo AX 進行設備遠端監控、資料分析與預測性維護
• EPSON 機械手臂：IC 彈匣／載具取放、設備上下料及製程間搬運

• Festo 半導體自動化方案
• Festo AX Controls
• Festo AX 預測性維護應用
• EPSON 機械手臂